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企查查APP显示，近日，微导纳米科技（合肥）有限责任公司成立，经营范围包含：新材料技术推广服务；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造等。企查查股权穿透显示，该公司由微导纳米（688147）全资持股。